帮助射频电源轻松支持多种工业通信协议

介绍

射频电源在半导体制造中起着至关重要的作用。从等离子体生成到蚀刻工艺和薄膜沉积技术，射频功率可确保器件制造的精度和高效率。凭借其高性能的通信和强大的适应性，EtherCAT 已成为半导体行业广泛采用的工业以太网协议。

因此，EtherCAT 技术被广泛用于国内生产的薄膜沉积和蚀刻设备。由于射频电源是这些机器中的组件，因此它们需要与 EtherCAT 兼容，并确保即使在苛刻的环境中也能实现高质量、稳定的通信。

客户面临的挑战

• 不断变化的市场需求： 客户目前需要 EtherCAT 协议支持，但将来可能需要其他协议，例如 PROFIBUS DP 或 DeviceNet。他们如何快速适应不断变化的需求？
• 恶劣的运行环境： 射频电源用于半导体设备中，其中高稳定性至关重要。生产过程中的任何问题都可能导致重大损失。
• 有限的研发资源： 客户的核心优势在于射频产品开发。他们没有资源投资于工业通信协议的复杂开发和维护。

HMS 解决方案

在比较了几种产品之后，客户选择了 Anybus CompactCom 40 模块 （M40）。在此设置中，射频电源的主控微控制器单元 （MCU） 通过串行外设接口 （SPI） 与 Anybus CompactCom 通信，而 Anybus CompactCom 处理所有与协议相关的任务。

在 HMS 当地技术专家的支持下，客户在短短 25 天内完成了产品开发并准备好了原型。因此，射频电源现在支持 EtherCAT、DeviceNet 和 PROFIBUS DP 这三种半导体行业常见的通信协议。

解决方案亮点

• 多协议支持： 单个硬件设计支持多种工业通信协议。
• 灵活的接口： 通过 UART、SPI 或 8/16 位并行接口连接到 CPU。
• 易于开发： 加快上市时间。
• 用户友好： 插入式模块设计，易于安装。
• 预认证： 由相关网络组织进行预认证，以简化产品认证。

半导体行业的 EtherCAT 一致性

除了开发高端设备外，半导体设备制造商还必须确保每个自动化设备都符合 EtherCAT 技术协会 （ETG） 规定的 EtherCAT 半导体设备行规。Anybus CompactCom 40 在硬件和软件上都支持此配置文件，并符合 ETG.5003 标准。这大大缩短了开发和上市时间。

详细的解决方案参考

解决方案的影响

自 2022 年以来，客户一直与 HMS 合作。使用Anybus CompactCom的RF电源已经成功地在半导体行业中进行了大规模部署。这些产品的功率从几千瓦到几十千瓦不等，在实际应用中表现出稳定的性能，并支持 EtherCAT、DeviceNet 和 PROFIBUS DP 协议。 Anybus CompactCom已经帮助客户在半导体行业建立了其射频电源的良好声誉，年使用量超过1000台。

“Anybus解决方案在半导体行业的射频电源产品中有许多成功的应用。我们相信他们的产品稳定可靠。在选择了Anybus解决方案后，我们对开发的简单性感到惊讶 — 我们的原型在短短25天内就准备好了。这种速度对于我们应对市场非常重要。

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